波長型X射線熒光光譜儀采用高性能硅漂移探測(cè)器SDD,能量分辨率低到135eV，可定義測(cè)量幾乎所有元素譜線，可分析多種元素多成分物質(zhì)，比如高合金鋼，精密合金，多金屬礦石等。

　　波長型X射線熒光光譜儀簡單，相互干擾少，樣品不必分離，分析方法比較簡便，分析濃度范圍較寬,從常量到微量都可分析。重元素的檢測(cè)限可達(dá)ppm量級(jí)，輕元素稍差，分析樣品不被破壞，分析快速，準(zhǔn)確，便于自動(dòng)化。

　　波長型X射線熒光光譜儀的性能好壞如何判斷呢？可從以下四個(gè)方面去考慮。

　　1、波長范圍。波長范圍是X熒光光譜儀所能測(cè)量的波長區(qū)間。使用新型探測(cè)器可以使之前的范圍拓展一些距離，即覆蓋紫外、可見和近紅外波段。光柵的類型以及探測(cè)器的類型會(huì)影響波長范圍。

　　2、波長分辨率。波長分辨率描述了光譜儀能夠分辨波長的能力，波長分辨率與波長的取樣間隔是兩個(gè)不一樣的概念。高的波長分辨率意味著窄額度波長范圍

　　3、噪聲等效功率和動(dòng)態(tài)范圍。當(dāng)信號(hào)的值與噪聲的值相當(dāng)?shù)臅r(shí)候，從噪聲中分辨信號(hào)就會(huì)困難。一般用與噪聲相當(dāng)?shù)男盘?hào)的值來表征能一個(gè)光譜儀所能夠測(cè)量的弱的光強(qiáng)。噪聲等效功率越小，光譜儀就可以測(cè)量弱的信號(hào)。

　　4、敏度與信噪比。敏度描述了X熒光光譜儀把光信號(hào)變成電子學(xué)信號(hào)的能力，高的敏度減小電路本身的噪聲對(duì)結(jié)果影響。狹縫的寬度、光柵的類型、探測(cè)器的類型以及電路的參數(shù)都會(huì)影響敏度。人為地調(diào)高前置放大電數(shù)也會(huì)提高名義上的敏度，但并不實(shí)際的測(cè)量。